箱式石英退火炉
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箱式石英退火炉是一种在材料科学、半导体工程和陶瓷工艺中常用的设备，特别是在对石英、玻璃和晶体进行高温热处理时。"箱式"指的是炉子的结构，通常是一个有盖的箱形空间，可以打开和关闭以便放入或取出样品。石英退火炉通常使用电阻加热元件来加热炉内的空间。
退火是一种热处理过程，通过加热材料至一定温度，保持这个温度足够时间后，再让其缓慢冷却，以此来减少材料内部的应力、改善它的微观结构、提高化学均匀性、增强材料的机械性能和稳定性。石英退火炉特别适合用于对石英玻璃和石英基材料的退火，因为它们在高温下需要一定的氛围控制(如氧化或还原气氛)以防止材料变质。
箱式石英退火炉通常配备高精度温度控制系统和程序控制，以确保热处理过程连续且可重复。这对于需要高精度的温度控制和均匀的热分布，比如在半导体行业中，退火对改善晶体管和集成电路的特性至关重要。
此类炉子可以设计为在不同的气氛下工作，如真空、惰性气体、还原性或氧化性气氛等，以适应各种不同的材料处理需求。高纯度石英材料的使用则能承受高温，并保证处理过程中的材料不被杂质污染。
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